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关于光刻机的类型做个普及

发布时间:2015-01-14

    随着生产工艺的提高,出现了激光全息光刻机,凭借其优异的性能为人们的生产带来了新的变革。

    据了解光刻机一般根据操作的简便性分为手动、半自动、全自动三种,其中手动指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和角度来完成对准,对准精度可想而知不高了,半自动指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐,自动指的是从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要,另外,其曝光方式也非常的多样化,特别是接触式曝光,掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当,设备简单,是目前使用较多的一种。

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