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做好对准让光刻机顺利使用

发布时间:2014-12-31

    激光全息光刻机作为一种新型的生产设备凭借其优异的性能目前在行业中备受关注,下面就来了解其相关的使用要点吧。

    做好其对准工序很重要,应打开监视器。如果需要进行单面对准,打开显微镜照明光源。如果需要进行双面对准,打开红外光源,把显微镜系统移动到“Align”位置。调节显微镜的位置、焦距、放大倍率和CCD 的增益到监视器上可以清楚看见掩膜板图形。调节硅片位置到与掩膜板完全对准,调节面板上的“Contact”真空度到需要的值,打开“Contact Vacuum”开关使硅片与掩膜板紧密接触,如果需要进行超高精度的曝光,此时可以关闭,最后把显微镜系统移回“Home”位置就可以了,从而可开始下一步工序。

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