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介绍光刻机工作台的结构组成

发布时间:2015-01-14

    据一些激光全息光刻机生产厂家了解到,要想进一步确保设备的性能,那么在研发设计时其对准体统需要格外注意,下面就由小编来做个详细的介绍吧。

    对准系统的一大技术难题是对准显微镜,为了增强显微镜的视场,现在许多高端的光刻机,采用了LED照明,一般对准系统共有两套,具备调焦功能,主要就是由双目双视场对准显微镜主体、目镜和物镜各1对,CCD对准系统作用是将掩模和样片的对准标记放大并成像于监视器上,此外光刻工艺最主要的工件就是掩模和基片,工件台为光刻机的一个关键,其主要由掩模样片整体运动台、掩模样片相对运动台、转动台、样片调平机构、样片调焦机构、承片台、掩模夹、抽拉掩模台组成,各部件完美的结合从而确保设备的正常运转。

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