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关于光刻机的分类情况做个了解

发布时间:2014-12-23

    据一些激光全息光刻机厂家了解到,目前由于生产要求的不断提高,使得光刻机在行业中也得到了广泛的使用。

    就拿投影式光刻机来说,它在现代光刻中占主要地位,据相关数据显示投影式光刻机约占整个光刻设备市场份额的70%以上。其主要优点是分辨率高,不沾污掩膜版,重复性好,但结构复杂,价格昂贵,投影式光刻机又分为扫描式和步进式,扫描式采用11光学镜头,由于扫描投影分辨率不高,约1um左右,,步进投影光刻机采用缩小投影镜头,一般有41.5,1.10:1等。,此外还出现了粒子束光刻,常见的粒子束光刻主要有X射线、电子束和离子束光刻,因而在用前需要做好了解。

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