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关于光刻机的曝光要点做个介绍

发布时间:2014-12-23

    据一些激光全息光刻机厂家介绍到,随着目前技术的不断革新,使得设备的性能也变得越来越好,从而为人们的生产带来了便利。

    为确保其能正常工作,需要注意一下注意事项,当曝光时,打开汞灯电源,此时电压会指示到最大值,按住“Start”按钮约5秒钟触发汞灯并 检查风扇是否正确运转。如果触发成功,会看到电压回到约数十伏的位置。如果触发不成功,先关闭电源,等一分钟再打开后重新触发,随后打开左面板上的曝光控制电源按钮,设定所需的曝光时间,等汞灯预热8分钟后开 始曝光,完成之后陆续关闭汞灯电源,关闭真空系统、氮气、压缩空气,最后关闭光刻机电源,从而避免设备受到损坏。

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