出现了激光全息光刻机等纵多优质的产品
发布时间:2020-09-10
随着近几年技术的不断革新,出现了激光全息光刻机等纵多优质的产品,从而带动了行业的整体发展,下面就和小编来对其技术做简要的了解。
据了解,接近式光刻是发展最早的一种曝光方式,它采用1:1方式复印掩膜版上的图形,这类光刻机结构简单,价格便宜,发展也较成熟,但其分辨率不高,通常最高可达1um 左右,此外由于掩膜版直接和光刻胶接触会造成掩膜版
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