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聊一聊电子束曝光技术的那些知识

发布时间:2014-11-25

    据一些激光全息光刻机生产厂家了解到,随着目前科技的不断研发,出现了一系列的光刻技术,凭借其优异的性能为行业的生产带来了便利,下面就和小编来简单了解一下。

    像是电子束曝光技术,就是目前分辨率较高的一种曝光手段,其优点包括优分辨率高,不需要掩膜,不受像场尺寸限制,真空内曝光无污染,由计算机控制,自动化程度高等,通过它生产的扫描隧道显微镜、圆形束、成形束、投影曝光、微电子光柱等设备在行业中得到了广泛的采用,赢得了用户的一致好评,此外电子束光刻采用直接写的技术,在掩膜版的制备过程中占主要地位,但也正是因为电子束采用直接写的技术,因此曝光的速度很慢,不实用于大硅片的生产,所以在实际生产中需要注意。

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