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就激光全息光刻机的技术原理做个了解

发布时间:2014-11-25

    随着激光全息技术的进一步研发和使用,目前行业出现了一种新型的激光全息光刻机,凭借其强大的工作性能在行业中备受瞩目,下面就来简单了解一下。

    激光全息光刻机的技术属于粒子束光刻,但由于光学光刻受分辨率限制,要得到分辨率更高的图形只能求助于粒子束光刻,常见的粒子束光刻主要有X射线、电子束和离子束光刻,X其中射线光刻技术是比较热门的一种粒子束光刻技术,同光学曝光相比,X射线有着更短的波长,因此有可能获得分辨率更高的图形,其具有景深容易控制,视场大,射线对光刻工艺中的尘埃不敏感,因此成品率较高,且X射线穿透力很强,另外由于X射线的波长很短,使其能得到较高分辨率的图形。

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