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激光全息模压机由单片机系统通过主机上控制面板进行操作

发布时间:2020-09-10

      激光全息模压机是利用激光全息技术研发出来的一种新型光刻机设备,评级其优异的性能,受到了用户的一致好评,下面就来对其做个全面的了解。

      激光全息模压机由单片机系统通过主机上控制面板进行操作,其灯源多采用200W交流高压汞灯,曝光系统采用积木错位蝇眼透镜实现均匀照明和平滑衍射效应。掩模面的最大照度可达10mW/cm2,照度可通过曝光系统内部的可变光栏进行调