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简述激光全息模压机的零件组成

发布时间:2015-01-30

    激光全息模压机是利用激光全息技术研发出来的一种新型光刻机设备,评级其优异的性能,受到了用户的一致好评,下面就来对其做个全面的了解。

    激光全息模压机由单片机系统通过主机上控制面板进行操作,其灯源多采用200W交流高压汞灯,曝光系统采用积木错位蝇眼透镜实现均匀照明和平滑衍射效应。掩模面的最大照度可达10mW/cm2,照度可通过曝光系统内部的可变光栏进行调节。  对准采用双目双视场对准显微镜,对准显微镜的有三对目镜和三对物镜可以互换,组合后最大倍数为375倍,对准物镜轴距可在20mm-63mm之间变化。在目镜中可单独观察到一个视场的像,也可同时观测到两个视场的像,此外工件台可带动掩模样片一起作XY整体运动,也可XY整体运动锁紧,从而使其操作起来更加的灵活,为用户的使用带来便利。

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