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简述激光全息光刻机的结构

发布时间:2015-01-30

    目前激光全息刻机凭借其优异的性能在行业中得到了广泛的应用,工件台为光刻机的一个关键,由掩模样片整体运动台、掩模样片相对运动台、转动台、样片调平机构、样片调焦机构、承片台、掩模夹、抽拉掩模台组成。

    其中,样片调平机构包括球座和半球。调平过程中首先对球座和半球通上压力空气,再通过调焦手轮,使球座、半球、样片向上运动,使样片与掩模相靠而找平样片,然后对二位三通电磁阀将球座和半球切换为真空进行锁紧而保持调平状态。样片调焦机构由调焦手轮、杠杆机构和上升直线导轨等组成,调平上升过程初步调焦,调平完成锁紧球气浮后,样片和掩模之间会产生一定的间隙,因此必须进行微调焦。另一方面,调平完成进行对准,必须分离一定的对准间隙,也需要进行微调焦。

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