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了解电子束光刻技术的特点

发布时间:2014-12-22

    激光全息光刻机作为一种性能卓越的生产设备在行业中得到了广泛的使用,确保了生产的顺利进行,促使了产量的提高。

    电子束曝光技术是迄今为止分辨率最高的一种曝光手段,具有分辨率高,不需要掩膜,不受像场尺寸限制,真空内曝光,无污染,由计算机控制,自动化程度高等优点,电子束光刻采用直接写的技术,在掩膜版的制备过程中占主要地位。但也正是因为电子束采用直接写的技术,因此曝光的速度很慢,不实用于大硅片的生产,此外电子束轰击衬底也会产生缺陷,但相信随着设备的不断完善,会在日后得到广泛的使用。

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