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讲解激光全息光刻机性能的含义

发布时间:2014-12-16

    据一些激光全息光刻机生产厂家了解到,随着生产技术的不断提高,使得设备的性能变得越来越好,从而为人们的日常生产带来了便利。

    光刻机的性能包括支持基片的尺寸范围,分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等,其中分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式, 光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面的限制,对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度,而曝光方式分为接触接近式、投影式和直写式,还有曝光光源波长为紫外、深紫外和极紫外区域,光源有汞灯,准分子激光器等。

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