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介绍激光全息光刻机的基本性能参数

发布时间:2014-12-16

    激光全息光刻机是一种全新的生产设备,评借其优异的性能在行业中得到了广泛的应用,下面就和小编来对其做个了解。

    按照设备施加力量的方式不同可分为软接触,硬接触和真空接触三种,其中软接触就是把基片通过托盘吸附住,掩膜盖在基片上面,硬接触是将基片通过一个气压往上顶,使之与掩膜接触,真空接触则是在掩膜和基片中间抽气,使之更加好的贴合,此外其主要性能指标有支持基片的尺寸范围,分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等要素,因而在使用时需要做好调整,以便其发挥出优异的功效。

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