对于光刻机的使用分类你了解吗

发布时间：2020-09-10

       光刻工艺要经历硅片外貌洗濯烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、等工序。 光刻意思是用光来制作一个图形;在硅片外貌匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的进程将器件或电路布局临时“复制”到硅片上的进程。

             

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