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了解激光全息光刻机的设计原理

发布时间:2014-11-25

    激光全息光刻机是一种工艺先进,性能卓越的生产仪器,凭借其优异的生产效果在行业中得到了广泛的使用,下面就和小编来了解它究竟是如何工作的吧。

    激光全息光刻机主要是通过曝光的方法将掩模上的图形转移到涂覆于硅片表面的光刻胶上,然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到硅片上,但是要制备光刻图形,就得在芯片表面制备一层均匀的光刻胶,并且在涂胶之前还需要对芯片表面进行清洗和干燥,从而确保其粘合效果,目前涂胶的主要方法有甩胶、喷胶和气相沉积,其中以甩胶使用最多,具体是利用芯片的高速旋转将多余的胶甩出去,而在芯片上留下一层均匀的胶层,随后再通过紫外光刻就是就可以投入生产了。

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