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普及激光全息光刻机的结构组成知识

发布时间:2014-11-25

   激光全息光刻机是近代化生产技术不断革新的重要标志,凭借其独特的构造设计和强大的生产能力。使其在行业中备受瞩目,全面提升了生产力,实现了经济效益的增长。

    激光全息光刻机基本由光罩采集和存放系统,光罩扫描系统,传输送系统,防振系统,光照投影系统,对准系统,温控系统等构成,在生产设备之前要了解曝光波长和分辨率之间的关系,据数据表明曝光波长的缩短可以使光刻分辨率线性提高,但同时会使焦深线性减少,由于焦深与数值孔径的平方成反比,增大投影物镜的数值孔径,所以在提高光刻分辨率的同时会使投影物镜的焦深急剧减少,所以投影物镜必须具备足够的焦深,离轴照明可以提高焦深,从而进一步提高设备的性能。

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